GRAVEUR DIAMANT
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Le MR100 est un appareil permettant de graver et de découper des gaufrettes ou "wafer" en Silicium (d'autres matériaux sont également possibles).
Cet appareil permet :
- la découpe de wafer en silicium (avant observation sous un microscope à balayage par exemple)
- la découpe de wafer pour y séparer les différentes puces électroniques
Cet instrument est principalement utilisé pour le silicium mais d'autres matériaux sont également possibles.
Le MR100 comprend :
- Un microscope avec zoom 8X…40X
- Un oculaire 10X avec croix permettant le positionnement exact de l'échantillon par rapport aux bords et aux structures...
- Une table en croix (80mmX80mm) pour le positionnement précis de l'échantillon dans les directions x et y (cette table en croix est positionnée sur le guide linéaire utilisé pour la gravure)
- Un listel avec dispositif d'aspiration sous vide, diamètre 8 pouces avec réglage angulaire fin à l'aide d'une vis micromètrique (résolution de 10µm soit 0,006°).
- Une pointe diamantée
- Un guide linéaire de 100mm destiné à la gravure manuelle
- Une source blanche fibrée avec éclairage annulaire
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