Microscope Confocal à Balayage Laser
TM
OLS3100
Le nom « LEXT » est issu des mots « laser » et « next » (prochain) signifiant la « prochaine génération de microscopes confocaux 3D ».
207339_fr_letxt_ols3100.indd 1
207339_fr_letxt_ols3100.indd 1
08.04.2008 16:26:41 Uhr
08.04.2008 16:26:41 Uhr
Plus de simplicité avec plus de précision: la prochaine étape de l'évolution de la métrologie confocale laser à trois dimensions.
Le LEXT permet de minimiser les opérations manuelles, améliorant ainsi le confort d'utilisation pour tous. Même un
novice peut utiliser le système comme un expert et obtenir des résultats rapides et fiables. Les caractéristiques du
système améliorent non seulement sa fonctionnalité, mais aussi ses performances de mesure qui sont bien meilleures.
Dans un souci constant de simplicité et de précision, le LEXT répond aux besoins très variés de la mesure de profils
de surfaces fines.
1
207339_fr_letxt_ols3100.indd 2
207339_fr_letxt_ols3100.indd 2
08.04.2008 16:26:46 Uhr
08.04.2008 16:26:46 Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
2
207339_fr_letxt_ols3100.indd 3
207339_fr_letxt_ols3100.indd 3
08.04.2008 16:26:49 Uhr
08.04.2008 16:26:49 Uhr
Le fonctionnement automatisé permet des résultats rapides et de haute précision.
Positions et réglages des grossissements
Clic
Le navigateur est un nouvel assistant
La saisie d'image 3D avec détection automatique des
en ligne qui guide l'utilisateur
limites supérieures et inférieures en un clic
Le navigateur présente des animations
Avec le LEXT, l'acquisition d'image 3D s'effectue en seulement
qui guident l'utilisateur pas à pas dans
un clic sur le « bouton acquisition 3D ». Les réglages de limites
son observation au microscope. Vous
supérieures et inférieures et autres préparations fastidieuses ne
pouvez effectuer une série d'étapes
sont pas nécessaires. Même un novice peut facilement obtenir
en utilisant tout simplement la souris
une image 3D de la meilleure qualité. Cette fonction d'acquisition
comme montré dans les animations
d'image 3D automatisée allège la charge de travail des utilisateurs
affichées à l'écran.
expérimentés et contribue à améliorer leur efficacité de manière significative.
La tourelle porte-objectifs motorisée rapide garantit des inspections microscopiques sûres et rapides.
Le changement d'objectifs motorisé améliore l'efficacité de travail et protège l'échantillon ; une fonction automatique d'escamotage empêche la lentille de l'objectif d'entrer en contact avec un échan-tillon. L'excellente parfocalité de tous les objectifs et la fonction automatique de réglage de l'intensité lumineuse garantissent des niveaux de luminosité inchangés après les changements de grossissement.
La mise au point automatique rapide et le réglage du gain en un bouton permettent à l'utilisateur de réaliser des préparations pour une saisie d'image 3D rapide et facile.
La vitesse de la mise au point automatique a été multipliée par trois afin que l'utilisateur puisse obtenir une image ou un point dans une image en un instant. De plus, le réglage du gain en un bouton permet à l'utilisateur d'effectuer un réglage lumineux optimal et de réaliser ses préparations pour une acquisition d'image 3D facile.
3
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 4
4
08.04.2008
08.04.2008 16:26:53
16:26:53 Uhr
Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
L'affichage, la mesure et
Acquisition d'image
l'analyse
Une invitation à un nouveau monde 3D qui pro-pose différents modèles de présentation, des mesures de haute précision et des techniques d'analyse d'avant-garde.
Une image acquise est transformée en une image 3D à l'aide des capacités d'affichage du LEXT. Des mesures très précises, une répétition de haute qualité et des tech-niques d'analyse hors pair en matière de rugosité et d'analyse des particules offrent à l'utilisateur une toute nouvelle dimension de l'observation microscopique.
Micro-objectif
Auto Fine View fait tout automatiquement
La luminosité et le contraste d'une image acquise sont réglés
Quadrillage
automatiquement. Les images sont généralement traitées par un utilisateur expérimenté. Grâce à la fonction Auto Fine View du LEXT, tout le monde peut acquérir des images 3D de haute qualité sans formation particulière.
Mesure de hauteur de pas
Profil d'intensité de l'image
Après traitement automatique
Analyse de
Avant
rugosité de
traitement
surface
Wafer bump
4
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 5
5
08.04.2008
08.04.2008 16:27:00
16:27:00 Uhr
Uhr
Un puissant affichage 3D qui facilite la mesure et l'analyse.
L'affichage
Une image 3D ajustableL'angle d'une image 3D peut maintenant être changé facilement en sélectionnant l'image avec la souris. De
Electrode de filamentation
plus, l'image 3D peut être agrandie ou réduite jusqu'à un facteur 100 à l'aide de la roue de la souris. Cette fonction fait appel à un algorithme unique qui empêche la perte de qualité de l'image agrandie. La couleur de fond peut également être changée afin d'améliorer l'ob-servation et le contraste de l'échantillon.
La mesure
La mesure 3DLe pas, la largeur et la distance entre deux points peuvent maintenant être mesurés sur l'image 3D. Les commandes de mesure sont reconnues intuitivement.
Mesure de pas
Mesure de la distance entre deux points
Mesure de largeur
5
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 6
6
08.04.2008
08.04.2008 16:27:06
16:27:06 Uhr
Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
Stud bump
Plusieurs modèles de présentation d'images 3D
Face inversée d'un wafer Si
Une variété de modèles de présentation d'images 3D est fournie, comprenant la texture, la vraie couleur, le quadrillage, etc., afin de permettre une meilleure inspection visuelle.
Vraie couleur (observation en fond clair)
Cellules de couche cornée
Surface 1
Surface
Surface
Plaque de guide optique
(pour LCD)
Surface 2
Texture
Perspective
Texture
Quadrillage
Perspective des balances
L'analyse
Analyse de rugositéDes mesures de la rugosité sans contact peuvent être collectées grâce au petit point laser. D'autres analyses précises de la rugosité peuvent être effectuées à l'aide de la fonction unique de ROI. La mesure de la rugosité peut également être effectuée sur une ligne simple de façon similaire aux jauges de rugosité conventionnelles.
Analyse de rugosité
Film de toner
6
207339_fr_letxt_ols3100.indd 7
207339_fr_letxt_ols3100.indd 7
08.04.2008 16:27:12 Uhr
08.04.2008 16:27:12 Uhr
Des méthodes d'observation multiples pour une gamme d'applications importante
L'affichage
Observation en fond clairLes informations de couleurs peuvent être obtenues par l'observation en fond clair (couleurs). Cette méthode est donc très efficace pour détecter un défaut sur un filtre de couleur ou localiser la position d'une zone de corrosion sur du métal.
Toner d'imprimante laser
L'observation en DIC (Contraste Interférentiel Différentiel) Lors de l'observation en DIC, il est possible d'observer une éraflure ou un défaut de seulement quelques nanomètres de hauteur qui ne pourraient être observés en fond clair.
Face inverséed'un wafer
Confocal laserUne observation avec une résolution élevée, impossible avec les microscopes conventionnels, est maintenant possible grâce à la combinaison d'un laser de 408 nm et d'optiques confocaux.
Motifs de circuit sur un wafer
Image confocale
Image non confocale
Confocal laser DICL'irrégularité d'une surface peut être observée en trois dimensions en temps réel, ce qui est impossible avec les microscopes conventionnels. L'observation de surface à un niveau de réalisme dimensionnel compa-rable à celui d'un MEB a été rendue totalement possible, apportant une nouvelle dimension à l'observation des surfaces.
Film de polymères
7
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 8
8
08.04.2008
08.04.2008 16:27:17
16:27:17 Uhr
Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
Double affichage à l'écranUne image observée dans un mode d'observation et la même image observée dans un autre mode d'observation peuvent être affichées simultanément en direct. Un point d'intérêt peut être facilement loca-lisé simultanément sur l'image en microscopie classique qui contient des informations de couleurs et sur l'image en microscopie confocale. Grâce à cette fonction de double affichage à l'écran, il est possible de vérifier la qualité de l'échantillon et de le comparer avec un échantillon de référence lors d'observations en direct.
Stud bump
La mesure
La mesure de la distance en temps réelUne distance peut être mesurée en temps réel à l'aide du profil d'intensité. Une distance peut être mesurée lors d'observations en direct.
Motifs de test (chrome)
L'analyse
Analyse de particulesIl est possible de séparer automatiquement des particules grâce àla fonction de séparateur, d'attribuer des valeurs seuils et de spécifier une gamme de détection. La mesure automatique de toutes les particules peut être faite à l'aide de différents paramètres de mesure des particules, et toutes les données mesurées peuvent être traitées statistiquement pour étayer des analyses avancées des particules.
Cellules de couche cornée
8
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 9
9
08.04.2008
08.04.2008 16:27:21
16:27:21 Uhr
Uhr
Une résolution et une précision de premier rang.
La plus haute résolution au monde
Concept du trajet lumineux dans le système optique violet
Le système optique, conçu exclusivement pour la lumière laser de 408 nm (système optique violet), prévient les anomalies associées aux sources lumineuses de faibles longueurs d'onde et permet
Photo-multiplicateur
les meilleures performances du laser 408 nm. Ce niveau élevé de résolution a été rendu possible par le système optique confocal équipé d'une sténopée circulaire optimale et d'un balayage XY
Sténopée con-
haute vitesse doté de la technologie MEMS d'Olympus. Grâce
focal circulaire
à la résolution planaire la plus
CCD
élevée du monde, une ligne ou un espace de 0,12 m peuvent être résolus. De plus, la résolution en
Laser
hauteur de 0,01 m aide l'utilisa-teur à effectuer des mesures deprofils de surface.
Ligne de 0,12 m et espace 14.400x
Lumière LED
Concept d'un scanner à deux dimensions
Motif de balayage
Scanner MEMS
Objectif
Lumière incidente
Le plus haut niveau de répétabilité au monde
De multiples
Fonction de recherche
points à une
CFO
Les techniques optiques à la pointe du progrès maîtrisées par
intensité de
La courbe I-Z d'origine est
Olympus ont rendu possible la répétabilité de mesures planaires
pointe
Intensité
tracée sur les points supérieurs
de 3 = 0,02 m et une répétabilité de mesure de hauteur de
très lumineux, et les valeurs de
3 = 0,04 + 0,002L mm (L = longueur mesurée en m). Un guide
luminosité maximum sont cal-culées de manière très précise
d'une rectitude exceptionnelle et une échelle linéaire haute préci-
à l'aide d'une formule avancée.
sion sont utilisés pour le balayage de l'axe Z. Ces caractéristiques,
Le niveau de répétition élevé
associées à une fonction de recherche CFO avancée, contribuent
du LEXT est rendu possible grâce aux données de hauteur
à un niveau de répétabilité sans égal. Cette grande fiabilité permet
obtenues avec ce procédé.
au LEXT de répondre aux besoins les plus exigeants de la re-
Hauteur
cherche et de l'industrie.
Tableau de traçabilité
Des mesures fiablesDes données très fiables sont fournies sur la base d'un système
Japon (NMIJ/AIST)
de traçabilité très rigoureux qui est jumelé avec le JCSS (Japan Calibration Service System).
JCSS Japan Calibration Service System
OLYMPUS
Laser He-Ne stabilisé
Jauge de bloc
Standard de calibrage
Bloc de calibrage
LEXT (OLS3100)
9
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 10
10
08.04.2008
08.04.2008 16:27:23
16:27:23 Uhr
Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
Un objectif conçu exclusivement pour le microscope
confocal à balayage laser LEXT
Un objectif apochromatique conçu exclusivement pour le microscope confocal à balayage laser permet d'améliorer les performances optiques avec le laser de 408 nm. Cet objectif, développé à partir de la technologie optique de renommée mondiale d'Olympus, a rendu possible le plus haut niveau de clarté d'observation et une précision de mesure à des grossissements importants.
Une fonction de sensibilité à 5 niveauxLe LEXT permet de régler la sensibilité à chaque position (cf. N.B.) en Z et de saisir une image en passant d'un niveau de sensibilité à
Réglage de sensibilité 5
un autre. Dans le cas d'un échantillon dont les motifs et les orifices
Réglage de sensibilité 4
sont multi-structurels, des variations de réflectance rendent difficiles la mesure de la hauteur. En utilisant la fonction de sensibilité, il est
Réglage de sensibilité 3
possible d'obtenir des informations sur la hauteur et la luminosité
Réglage de sensibilité 2
optimales pour de tels échantillons.
Réglage de sensibilité 1
N.B.: La sensibilité peut être réglée pour un maximum de cinq positions en Z.
Simulations
Un mode de capture d'images amélioré pour l'acquisition
Mode amélioré ON
d'images d'échantillons ayant des niveaux de réflectance différents
Dans le cas d'un microscope laser conventionnel, il est difficile d'obtenir des images d'échantillons ayant des niveaux de réflectance différents, comme par exemple la surface d'un circuit imprimé, un circuit à fil en cuivre ou une surface inclinée à faible réflexion. Le LEXT, équipé de ce mode amélioré, permet d'acquérir des images nettes avec de tels échantillons.
PCB (circuit imprimé)
Mode amélioré OFF
Filtre de bruit ROI (zone d'intérêt)Des zones peuvent être spécifiées sur l'écran et différents filtres peuvent être appliqués pour chaque zone, pour une image 3D idéale.
Avant traitement
Après traitement
Poil de chameau
10
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 11
11
08.04.2008
08.04.2008 16:27:26
16:27:26 Uhr
Uhr
Une gamme complète de fonctions de mesure et d'analyse pour satisfaire tous les besoins.
Sphérocristal en résine de polyamide
L'image ci-dessous est une image tridimensionnelle d'un sphérocristal en résine de polyamide moulée par injection (PA66) et observée à l'aide de la méthode N-ARC. Une telle structure en forme de spirale élevée est observée dans le processus de croissance du sphérocristal après moulage par injection, bien qu'elle soit rare. Le LEXT doté du DIC peut saisir une image 3D parfaitement nette de cette différence minime de quelques nanomètres, telle que la montre l'image ci-dessous à gauche.
Image 3D confocale laser
Image DIC confocale laser
Mousse (fluoro-caoutchouc)
La mousse fabriquée par injection de minuscules bulles d'air est dotée de propriétés hors pair elle est isolante, flexible et résis-tante aux chocs. De telles mousses sont donc largement utilisées pour les combinaisons de plongée et les matériaux d'emballage, ainsi que pour bien d'autres applications. La taille des bulles d'air et l'uniformité de leur distribution ont une influence importante sur la valeur d'un produit en mousse. L'image ci-dessous à gauche est une image 3D d'une coupe de mousse de fluoro-caoutchouc refroidie. En traitant l'image, on peut obtenir des données sur le volume et la zone de la mousse. Ce type de données permet entre autres à l'utilisateur d'identifier des défauts dans la mousse et d'améliorer les conditions de fabrication.
Image 3D confocale laser
Analyse des particules
11
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 12
12
08.04.2008
08.04.2008 16:27:31
16:27:31 Uhr
Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
Soudure (après gravure par ion)
Etant donné la nature très malléable de la soudure, il faut des années d'expérience et de savoir-faire avant de pouvoir préparer des échantillons pour observer la soudure sous microscope. Les techniques de surfaces polies à l'aide de la méthode de gravure par ion ont réalisé des progrès remarquables ces dernières années. L'image ci-dessous est celle de la surface de soudure traitée par la méthode de gravure par ion. L'image montre que la couche d'étain (Sn, partie blanche) est rendue plus lisse par la méthode de gravure par ion. La technique MEB nécessite un dépôt de vapeur, tandis que le LEXT ne nécessite aucun prétraitement. Ainsi, un échantillon peut être observé en l'état avec le LEXT.
Image 3D en vraie couleur
Analyse de la rugosité
Papier fixé avec un adhésif (post-it)
Les post-its sont utilisés en raison de leurs caractéristiques pratiques de collage, de décollage et de recollage. Des adhésifs sphériques minuscules sont distribués lorsqu'un adhésif est appliqué sur le post-it, comme le montre l'image ci-dessous. La façon dont ils sont distribués, leur épaisseur, etc., contribuent à la facilité d'utilisation des post-its. Grâce au LEXT, ces adhésifs et le papier (fibres) peuvent être observés et mesurés sans prétraitement ni contact.
Image 3D confocale laser
Mesure d'une coupe
Données: avec l'aimable
autorisation de NISSAN ARC, Ltd.
12
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 13
13
08.04.2008
08.04.2008 16:27:34
16:27:34 Uhr
Uhr
Des modèles qui répondent aux besoins individuels.
Platine motorisée/OLS30-CS150AS
Configuration avec une platine motorisée
Fonction mosaïque d'images pour permettre des
mesures sur une plus grande zone
Le LEXT est doté d'une fonction mosaïque d'images qui permet de créer une seule image à partir de multiples images. Une zone d'observation pouvant aller jusqu'à 12,8 mm x 12,8 mm peut être visualisée sous forme d'une image. Des mesures peuvent également être effectuées à partir d'une image reconstituée. De plus, l'efficacité du travail peut être améliorée de manière significative en spécifiant la méthode de saisie d'image en tant que paramètre.
Image reconstituée
Ecran de réglage des paramètres
Ecran de réglage consécutif
La mesure consécutive de points multiples
Image mesurée
Les positions enregistrées d'un échantillon peuvent être automatiquement et consécutivement saisies dans les mêmes conditions. Il est donc possible d'automatiser la prise des mesures.
Microscope confocal à balayage laser pour l'observation de wafers de 300 nm /OLS3100-300
Ce produit n'est peut-être pas disponible dans votre pays. Veuillez consulter votre revendeur Olympus.
13
207339_fr_letxt_ols3100.indd
207339_fr_letxt_ols3100.indd 14
14
08.04.2008
08.04.2008 16:27:36
16:27:36 Uhr
Uhr
B i e n v e n u e d a n s l e m o n d e d u L E X T 3 D
Spécifications
Balayage laser
Universel
Méthode d`observation
Laser
Laser, Laser confocal DIC, fond clair, DIC
Statif de microscope
Illumination
Laser
408 nm LD laser, Catégorie 2
408 nm LD laser, Catégorie 2
Lumière blanche
Illumination LED blanche
Platine Z
Mouvement vertical/
70 mm/100 mm
70 mm/100 mm
Hauteur maximum du spécimen
Tourelle porte-objectifs Z
Course/Résolution/Répétition
10 mm/0.01 m/3 = 0,04+0,002L m
10 mm/0.01 m/3 = 0,04+0,002L m
Objectif
5x, 10x, 20x, 50x, 100x
5x, 10x, 20x, 50x, 100x
Grossissement total
120x14400x
120x14400x
Champ de vision
2560x256021x21 m
2560x256021x21 m
Zoom optique
1x6x
1x6x
Platine *
Platine manuelle /Platine motorisée
100 x 100 mm/150 x 100 mm
100 x 100 mm/150 x 100 mm
Mémoire
Intensité /Hauteur
1024 x 1024 x 12 (bit/1024 x 1024 x 16)
1024 x 1024 x 12 (bit/1024 x 1024 x 16)
AF
Type réflexion laser
Type réflexion laser
Dimensions
464 (L) x 559 (P) x 620(H) mm
464 (L) x 559 (P) x 620(H) mm
Poids
56,9 kg
57,5 kg
* Une platine 300 mm x 300 mm est disponible sur commande spéciale.
LEXT Dimensions
(Unité: mm)
177
Moniteur *
406~456
(620)
190
520
415
PC *
494
279
353
559
464
417
176
Unité de contrôle
349,5
350
170
* Les dimensions du PC et du moniteur peuvent varier légèrement en fonction du pays.
14
207339_fr_letxt_ols3100.indd 15
207339_fr_letxt_ols3100.indd 15
08.04.2008 16:27:44 Uhr
08.04.2008 16:27:44 Uhr
Spécifications susceptibles de changer sans préavis ni obligations de la part du fabricant.
www.olympus-europa.com
Art. code: E0430903 · Printed in Germany 04/2008
Postfach 10 49 08, 20034 Hamburg, Germany
Division Bio-Industrie, Parc d'Affaires Silic, BP 90165,
Wendenstraße 14 18, 20097 Hamburg, Germany
74 rue d'Arcueil, F-94533 Rungis Cedex, France
Phone: +49 40 23773-0, Fax: +49 40 23773-4647
Phone: +33 1 45602300, Fax: +33 1 46865646
E-mail: microscopy@olympus-europa.com
E-mail: microscopie.ofr@olympus.fr
Olympus Belgium N. V., Boomsesteenweg 77,
Chriesbaumstrasse 6, CH-8604 Volketswil,
B-2630 Aartselaar, Belgium
Switzerland
Phone: +32 3 8705800, Fax: +32 3 8872426
Phone: +41 1 9476662, Fax: +41 1 9476677
E-mail: info@olympus.be
E-mail: micro.ch@olympus-europa.com
207339_fr_letxt_ols3100.indd 16
207339_fr_letxt_ols3100.indd 16
08.04.2008 16:27:45 Uhr
08.04.2008 16:27:45 Uhr
Domaines d'utilisation, exemples d'application de ce produit :
Chargement...
; "MACHINE À MESURE TRIDIMENSIONNELLE : LEXT 3D")
